发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING ELEMENTS ISOLATED BY TRENCH
摘要
申请公布号 EP0402897(A3) 申请公布日期 1993.12.15
申请号 EP19900111198 申请日期 1990.06.13
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MIYASHITA, NAOTO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.;TAKAHASHI, KOICHI, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.;SONOBE, HIRONORI, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址