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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING ELEMENTS ISOLATED BY TRENCH
摘要
申请公布号
EP0402897(A3)
申请公布日期
1993.12.15
申请号
EP19900111198
申请日期
1990.06.13
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人
MIYASHITA, NAOTO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.;TAKAHASHI, KOICHI, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.;SONOBE, HIRONORI, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV.
分类号
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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