| 摘要 |
<p>Ein mikrominiaturisierbares Ventil umfaßt eine Druckausgleichskammer (2), ein erstes semiaktives Ventil (3), das zwischen der Druckausgleichskammer (2) und einer ersten Fluidleitung (L1) angeordnet ist und ein zweites semiaktives Ventil (4), das zwischen der Druckausgleichskammer (2) und einer zweiten Fluidleitung (L2) angeordnet ist.</p> |
