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发明名称 METHOD FOR EVALUATING DEEP LEVEL OF SEMI-INSULATIVE SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0685021(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920231837 申请日期 1992.08.31
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 SATO KENJI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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