| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08330439(A) |
申请公布日期 |
1996.12.13 |
| 申请号 |
JP19950133341 |
申请日期 |
1995.05.31 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
AKAMATSU KAORI;ODANAKA SHINJI |
| 分类号 |
H01L21/74;H01L21/266;H01L21/762;H01L21/768;H01L21/8238;H01L23/522;H01L27/092;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/74 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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