发明名称 Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten in einer Vakuumbeschichtungsanlage oder für deren Magazinierung
摘要
申请公布号 DE29708315(U1) 申请公布日期 1997.07.10
申请号 DE19972008315U 申请日期 1997.05.09
申请人 LEYBOLD SYSTEMS GMBH, 63450 HANAU, DE 发明人
分类号 B65G15/44;B65G49/00;B65G49/07;C23C14/50;H01L21/677;H05K13/00;(IPC1-7):B65G49/07;B65G15/14;B65G15/20;B65G17/46;B65G21/22;C23C14/24 主分类号 B65G15/44
代理机构 代理人
主权项
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