发明名称 |
Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten in einer Vakuumbeschichtungsanlage oder für deren Magazinierung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE29708315(U1) |
申请公布日期 |
1997.07.10 |
申请号 |
DE19972008315U |
申请日期 |
1997.05.09 |
申请人 |
LEYBOLD SYSTEMS GMBH, 63450 HANAU, DE |
发明人 |
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分类号 |
B65G15/44;B65G49/00;B65G49/07;C23C14/50;H01L21/677;H05K13/00;(IPC1-7):B65G49/07;B65G15/14;B65G15/20;B65G17/46;B65G21/22;C23C14/24 |
主分类号 |
B65G15/44 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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