摘要 |
为提供一种杂讯小、感度佳之固态摄影装置。该固态摄影装置,系具备复数个感光单元,以及用来驱动复数个感光单元之驱动手段;各个感光单元包含:光二极体5,其系外露于半导体基板9的表面,用以累积入射光经光电变换后所得到之讯号电荷;传送电晶体6,其系用以传送由光二极体5所累积之讯号电荷;漂浮扩散层1,其系用以暂时储存由传送电晶体6所传送来之讯号电荷;及放大电晶体2,其系用以放大暂时储存于漂浮扩散层1的讯号电荷;设于放大电晶体2的源极/汲极扩散层3系被自对准矽化物层4所覆盖,漂浮扩散层1系外露于半导体基板9的表面。 |