CONNECTING DEVICE OF GAS EXHAUST PIPE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION APPARATUS,申请号KR19950040544-传众专利搜索

发明名称	CONNECTING DEVICE OF GAS EXHAUST PIPE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION APPARATUS
摘要
申请公布号	KR0166206(B1)	申请公布日期	1999.02.01
申请号	KR19950040544	申请日期	1995.11.09
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	OH, JAE-YONG;RYU, SE-HYUNG
分类号	H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203	主分类号	H01L21/203
代理机构		代理人
主权项
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