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发明名称 FORMING METHOD OF INTERPOLY INSULATING FILM
摘要
申请公布号 KR0164514(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950061323 申请日期 1995.12.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, KYUNG-TAE;KIM, CHANG-JIN
分类号 H01L21/8247;H01L21/31;H01L21/316;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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