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发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0159527(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19910018290 申请日期 1991.10.17
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LIMITED 发明人 KEN, NAKAO
分类号 F27B17/00;F27D11/02;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;H05B3/14;H05B3/66;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 F27B17/00
代理机构 代理人
主权项
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