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发明名称 HIGH-FREQUENCY POWER SOURCE
摘要
申请公布号 JPH11233294(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980052763 申请日期 1998.02.18
申请人 JEOL LTD 发明人 KATO TSUTOMU
分类号 H05H1/46;G05F1/44;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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