等离子腐蚀反应器及用于新出现的膜的方法

摘要

一种等离子腐蚀反应器(20)包括反应室(22),反应室具有接地上电极(24)、固定到高频电源(30)和低频电源(32)的下电极(28)、位于上下电极之间且可以具有浮置电位的外围电极(26)。稀土磁体(46,47)用于建立磁场,用于限制反应室(22)内产生的等离子体。等离子腐蚀反应器(20)能够腐蚀用于高密度半导体器件的新出现的膜。

主权项

1．一种等离子腐蚀反应器，包括：反应室；第一电极；第二电极；所说第一电极是一个电浮置或接地的电极；与所说第二电极相连的第一电源，其产生第一频率的功率；及与所说第二电极相连的第二电源，其产生第二频率的功率。