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发明名称 Apparatus and method for processing substrates
摘要
申请公布号 EP0416646(B1) 申请公布日期 2000.02.09
申请号 EP19900117282 申请日期 1990.09.07
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 ARAI, IZUMI;TAHARA, YOSHIFUMI;ISHIKAWA, YOSHIO
分类号 H01L21/00;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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