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发明名称
CASSETTE TRANSFER SYSTEM IN THE CLEAN ROOM
摘要
申请公布号
KR20060065785(A)
申请公布日期
2006.06.14
申请号
KR20040104192
申请日期
2004.12.10
申请人
AVACO CO., LTD.
发明人
JUNG, JONG BURM;HWANG, BYUNG SOO
分类号
H01J9/48
主分类号
H01J9/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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