发明名称 CASSETTE TRANSFER SYSTEM IN THE CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 KR20060065785(A) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 KR20040104192 申请日期 2004.12.10
申请人 AVACO CO., LTD. 发明人 JUNG, JONG BURM;HWANG, BYUNG SOO
分类号 H01J9/48 主分类号 H01J9/48
代理机构 代理人
主权项
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