一种制程设备调压装置

摘要

本实用新型旨在揭示一种制程设备调压装置，该装置包括一作动单元、一气缸以及一调压单元，该作动单元包括一可活动的夹具，该夹具受气缸的驱动而可位移，以提供夹持与释放的功效；该气缸连动于一底盘，而该底盘以连杆与夹具连动，令该气缸可作动底盘，再由底盘透过连杆令夹具位移，以控制夹具的行程；该调压单元连接于空压机以及气缸，该调压单元则可准确控制气流输入气缸的稳定性。

主权项

1. 一种制程设备调压装置，所述装置包括一作动单元、一气缸以及一调压单元，其特征在于，所述作动单元包括一可活动的夹具，所述夹具受所述气缸的驱动而可位移，提供夹持与释放的功效；所述气缸与所述夹具连接，并通过输入气缸的气流量控制夹具的行程；所述调压单元与所述气缸连接，所述调压单元可准确控制气流输入气缸的稳定性；通过所述调压单元控制输入至气缸的气体流量，提高所述作动单元动作的准确性，以提高制程效果。