发明名称 Layer system for creating a surface layer on a surface of a substrate, vaporisation source for manufacturing a layer system
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Schichtsystem zur Bildung einer Oberflächenschicht auf einer Oberfläche eines Substrats, insbesondere auf der Oberfläche eines Werkzeugs, wobei das Schichtsystem mindestens eine erste Hartschicht der Zusammensetzung (Al&lt;Sub&gt;a&lt;/Sub&gt;Mg&lt;Sub&gt;b&lt;/Sub&gt;Cr&lt;Sub&gt;c&lt;/Sub&gt;Me&lt;Sub&gt;d&lt;/Sub&gt;B&lt;Sub&gt;e&lt;/Sub&gt;AX&lt;Sub&gt;m&lt;/Sub&gt;Si&lt;Sub&gt;k&lt;/Sub&gt;)&lt;Sub&gt;α&lt;/Sub&gt;(N&lt;Sub&gt;u&lt;/Sub&gt;C&lt;Sub&gt;v&lt;/Sub&gt;O&lt;Sub&gt;w&lt;/Sub&gt;)&lt;Sub&gt;β&lt;/Sub&gt; umfasst, mit (a+b+c+d+e+m+k) = α, (u+v+w) = β, und (α+β) =100, wobei 40 &lt;Italic&gt;≤α≤&lt;/Italic&gt; 60 gilt, und wobei Me mindestens ein Element aus der Gruppe der chemischen Elemente bestehend aus den Nebengruppen IVb, Vb und Vlb des Periodensystems der chemischen Elemente ist. Die Komponenten AX ist mindestens ein Element aus der Gruppe der chemischen Elemente bestehend aus den Elementen der Hauptgruppen la und den Elementen Be, Ca, Sr, Ba und den Elementen der Nebengruppen VIIb, VIIIb, Ib, IIb, IIIb und den Elementen der Gruppe der Lanthanoide des Periodensystems der Elemente, wobei 0.004 ≤ m &lt; 60, bevorzugt 0.01 ≤ m &lt; 50 gilt. Erfindungsgemäss ist 0.4 ≤ a ≤ 58 und 0.04 ≤ b ≤12 und 18 ≤ c ≤ 42.</p>
申请公布号 EP2009134(A3) 申请公布日期 2009.03.04
申请号 EP20080157310 申请日期 2008.05.30
申请人 SULZER METAPLAS GMBH 发明人 VETTER, DR., JOERG
分类号 C23C14/32;C23C14/06;C23C14/34 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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