SYSTEM AND METHOD FOR DAMAGE REDUCTION IN LIGHT-ASSISTED PROCESSES

摘要

반도체 디바이스를 형성하기 위한 방법 실시예는, 손상된 표면을 갖는 유전체 층을 제공하는 단계 및 유전체 층의 손상된 표면을 보수하는 단계를 포함한다. 손상된 표면을 보수하는 단계는, 유전체 층의 손상된 표면을 전구체 화학물질에 노출시키는 단계, 광 에너지를 사용하여 전구체 화학물질을 활성화시키는 단계, 및 전구체 화학물질을 활성화시키는 동안 광 에너지의 스펙트럼을 걸러내는 단계를 포함한다.