Die Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung mit der eine präzise Positionsmessung über einen großen Messbereich in zumindest eine Messrichtung (X) ermöglicht wird, indem mehrere Maßstäbe (1, 2) mit reflektierenden Phasengittern aneinander gereiht sind. In letzter Zeit wurden die Formparameter von Phasengittern derart optimiert, dass diese eine sehr hohe relative Beugungseffizienz aufweisen. Um nun einen derartigen Maßstab als Ersatz einer vorhandenen Anordnung von Maßstäben (1) verwenden zu können wird erfindungsgemäß die absolute Beugungseffizienz des neuen Maßstabes (2) an die vorhandenen Maßstäbe (1) angepasst, indem die Reflektivität des Phasengitters dieses Maßstabs (2) verringert wird. Die Verringerung der Reflektivität kann durch Vorsehen einer Dämpfungsschicht (24) realisiert sein.
