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发明名称
积体电路保险丝以及打开积体电路保险丝的方法
摘要
本案揭示一种积体电路、其保险丝、及保险丝斯开方法。该方法使用一湿式蚀刻剂,执行保险丝渐开。结果,其中并没有对周遭材料造成损坏之爆炸。另外,使用湿式蚀刻剂同样地允许在任意金属层中之一保险丝之定位,该等金属层包含任何之非最后金属层,因而增加设计可能性。
申请公布号
TW200503234
申请公布日期
2005.01.16
申请号
TW093116188
申请日期
2004.06.04
申请人
万国商业机器公司
发明人
格雷考史帝芬E GRECO, STEPHEN E.
分类号
H01L23/62
主分类号
H01L23/62
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
美国
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