发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
摘要 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 장치는 셀 영역 및 주변 영역을 포함하는 기판; 상기 셀 영역에서 상기 기판 상에 적층된 셀 적층체; 상기 셀 적층체를 관통하는 일체의 채널막; 상기 주변 영역에 형성된 구동 트랜지스터; 및 상기 구동 트랜지스터에 연결되고, 상기 채널막보다 짧은 2 이상의 콘택 플러그들의 적층 구조로 형성된 플러그 구조를 포함하고, 상기 콘택 플러그들 각각은 상기 셀 적층체의 일부와 동일한 높이에 배치된 부분을 가질 수 있다.
申请公布号 KR20160138883(A) 申请公布日期 2016.12.06
申请号 KR20150124390 申请日期 2015.09.02
申请人 에스케이하이닉스 주식회사 发明人 안정열
分类号 H01L27/115 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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