发明名称 CRUCIBLE FOR SAPPHIRE GROWING SINGLE CRYSTAL AND SINGLE CRYSTAL GROWER USING IT
摘要 본 발명은 사파이어 단결정을 성장시키기 위해 알루미나 원료가 장입되는 도가니 및 장입된 원료로부터 시드 결정을 중심으로 단결정을 성장시키는 단결정 성장장치에 관한 것이다. 사파이어 단결정 성장용 도가니는 외부 용기; 외부 용기 내부에 삽입되며 원료가 장입되는 내부 용기; 및 외부 용기와 내부 용기 사이에 형성된 중간층; 을 포함한다. 이에 의하면, 단결정 성장 완료 후 내, 외부 용기를 분리할 수 있어 외부 용기의 재사용이 가능하다.
申请公布号 KR101683646(B1) 申请公布日期 2016.12.08
申请号 KR20150050456 申请日期 2015.04.09
申请人 주식회사 사파이어테크놀로지 发明人 이희춘;최이식;문성환;장계원;나복기;배영숙
分类号 H01L21/22;H01L21/02;H01L21/762 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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