发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02142138(A) 申请公布日期 1990.05.31
申请号 JP19880296658 申请日期 1988.11.22
申请人 NEC CORP 发明人 SHIMIZU TOSHIYUKI
分类号 H01L29/73;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/331;H01L29/161;H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址