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经营范围
发明名称
INSPECTION OF WAFER SLIP LINE
摘要
申请公布号
JPH0442945(A)
申请公布日期
1992.02.13
申请号
JP19900147680
申请日期
1990.06.06
申请人
NEC YAMAGATA LTD
发明人
WATABE YASUNORI
分类号
G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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