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发明名称 Kontaktlöcherstruktur für eine Halbleiter-Schaltung und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE69319963(D1) 申请公布日期 1998.09.03
申请号 DE1993619963 申请日期 1993.05.06
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC., CARROLLTON, TEX., US 发明人 CHEN, FUSEN E., MILPITAS, CALIFORNIA 95035, US;DIXIT, GIRISH A., DALLAS, DENTON COUNTY, TEXAS 75287, US;WEI, CHE-CHIA, PLANO COUNTY, TEXAS 75093, US
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/768;H01L23/485 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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