发明名称 FORMATION OF WIRING CONNECTION STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH10340904(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970150847 申请日期 1997.06.09
申请人 NKK CORP 发明人 TAGAMI RYUZO
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址