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发明名称
FORMATION OF WIRING CONNECTION STRUCTURE
摘要
申请公布号
JPH10340904(A)
申请公布日期
1998.12.22
申请号
JP19970150847
申请日期
1997.06.09
申请人
NKK CORP
发明人
TAGAMI RYUZO
分类号
H01L21/3205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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