| 发明名称 |
PLASMA TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10340798(A) |
申请公布日期 |
1998.12.22 |
| 申请号 |
JP19970150648 |
申请日期 |
1997.06.09 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
HORI HISASHI;FUJISAWA KAZUTOSHI;OBUCHI KAZUTO;MATSUSHITA ATSUSHI;SAKAMOTO KAORU |
| 分类号 |
H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
