| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0166824(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.01 |
| 申请号 |
KR19950052203 |
申请日期 |
1995.12.19 |
| 申请人 |
LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. |
发明人 |
LEE, BYUNG-JOO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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