| 摘要 |
<p>Zur absoluten optischen interferometrischen Längenmessung wird ein einziger Laser (31) zeitsequentiell auf verschiedene Wellenlängen (μ1, μ2) stabilisiert, bei stetigem, vorzugsweise linearem Übergang zwischen den beiden Wellenlängen. Während des Übergangs von der einen auf die andere Wellenlänge wird die Anzahl der durchlaufenden Interferenzen in einem Meßkanal gezählt. Bei bekannten und stabilen Wellenlängen (μ1, μ2) und Messung der Phasen (ζ1, ζ2) der beiden Wellenlängen läßt sich die Länge (L) einer Meßstrecke absolut messen. Gegenüber bekannten Verfahren wird mit der Erfindung unter Einsatz von aktiver integrierter Optik und Messung der Restphasen durch Kompensation in der integrierten Optik eine erhebliche Steigerung der Meßgenauigkeit sowie der Auflösung erreicht, so daß sich Wellenlängenunterschiede von 10-7μ nachweisen lassen.</p> |
