发明名称 ANORDNUNG ZUR LAGERUNG VON GEGENSTÄNDEN, INSBESONDERE VON SCHEIBENFÖRMIGEN GEGENSTÄNDEN, WIE WAFERN, FLACHEN PANELEN, ODER CDS
摘要
申请公布号 DE60033996(D1) 申请公布日期 2007.05.03
申请号 DE20006033996 申请日期 2000.04.03
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG 发明人 MISSALE, REINER;HAHN, SVEN
分类号 B65G1/00;H01L21/00;G11B7/26;H01L21/02;H01L21/673;H01L21/677 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
主权项
地址