高抵抗シリコンウェーハの製造方法,申请号JP20090146996-传众专利搜索

发明名称	高抵抗シリコンウェーハの製造方法
摘要
申请公布号	JP5922860(B2)	申请公布日期	2016.05.24
申请号	JP20090146996	申请日期	2009.06.19
申请人	株式会社ＳＵＭＣＯ	发明人	栗田一成
分类号	H01L21/324;C30B29/06;H01L21/322;H01L21/329;H01L29/861;H01L29/864;H01L29/868	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
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