| 摘要 |
可視光を使用した検査と赤外光を使用した検査を単一の装置により実行することが可能な太陽電池セルの検査装置を提供する。光照射部１３は、太陽電池セル１００と対向する領域に列設された赤外光を出射する複数のＬＥＤ素子３１と、これらの赤外光を出射する複数のＬＥＤ素子３１の外側において、太陽電池セル１００の外周部と対向する領域に列設された可視光を出射する複数のＬＥＤ素子３２と、拡散板２６と、反射部材としてのハーフミラー２１および合成部材２２から成り、可視光を出射する複数のＬＥＤ素子３２から太陽電池セル１００の外周部に向けて出射された可視光をシフトさせることにより、この可視光を太陽電池セル１００の周縁部に照射する可視光シフト機構とを備える。 |
