发明名称 |
METODO E APPARECCHIATURA DI DEPOSIZIONE DI FILM DI MATERIALI |
摘要 |
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申请公布号 |
ITTO20030690(A1) |
申请公布日期 |
2005.03.12 |
申请号 |
IT2003TO00690 |
申请日期 |
2003.09.11 |
申请人 |
EDISON TERMOELETTRICA S.P.A.;EUROPA METALLI S.P.A. |
发明人 |
BALDINI ALBERTO;GAUZZI ANDREA;ZANNELLA SERGIO |
分类号 |
C23C14/00;C23C14/24;C23C14/56;C23C14/58;H01B;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C14/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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