发明名称 METODO E APPARECCHIATURA DI DEPOSIZIONE DI FILM DI MATERIALI
摘要
申请公布号 ITTO20030690(A1) 申请公布日期 2005.03.12
申请号 IT2003TO00690 申请日期 2003.09.11
申请人 EDISON TERMOELETTRICA S.P.A.;EUROPA METALLI S.P.A. 发明人 BALDINI ALBERTO;GAUZZI ANDREA;ZANNELLA SERGIO
分类号 C23C14/00;C23C14/24;C23C14/56;C23C14/58;H01B;H01L39/24 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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