发明名称 METHOD OF INTRODUCING REAR STRAIN OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01175742(A) 申请公布日期 1989.07.12
申请号 JP19870336029 申请日期 1987.12.29
申请人 NEC CORP 发明人 SAKAI AKIRA
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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