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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0335522(A) 申请公布日期 1991.02.15
申请号 JP19890169911 申请日期 1989.07.03
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UMEMURA EIICHI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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