发明名称 移动式微粒侦测装置
摘要 一种移动式微粒侦测装置,用于一无尘室内,其包含一可移动装置及一微粒侦测器。该微粒侦测器安装于该可移动装置上,用以量测出微粒的大小及数目。该微粒侦测器系为光学式微粒侦测器或其他任何型式之微粒侦测器。
申请公布号 TW200510707 申请公布日期 2005.03.16
申请号 TW092125050 申请日期 2003.09.10
申请人 奇美电子股份有限公司 发明人 叶锡铭;李元荣;李首贤
分类号 G01N1/26 主分类号 G01N1/26
代理机构 代理人
主权项
地址 台南县新市乡台南科学工业园区奇业路1号