空白光罩基材、空白片光罩及光罩

摘要

在每边至少6寸长的四边形空白光罩基材中，具有成对的条状区，成对的条状区在延着基材的上表面之外周围的成对相对立侧边之每一侧内延伸2至10 mm，排除其长度方向上每一端处2mm边缘部份，每一条状区系向下倾向基材的外周围，以及，从用于条状区之最小平方平面至条状区之最大与最小高度之间的差最多为0.5μm。在晶圆曝光时，基材呈现良好的表面平坦度。