发明名称 PROBE STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH08327661(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19950134264 申请日期 1995.05.31
申请人 NITTO DENKO CORP 发明人 SO KAZUNORI;OUCHI KAZUO;SUGIMOTO MASAKAZU
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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