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发明名称 Verfahren zum Auftragen einer Dünnschicht auf ein Substrat durch Sputtern
摘要
申请公布号 DE69123802(T2) 申请公布日期 1997.07.10
申请号 DE19916023802T 申请日期 1991.09.19
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 INOUE, MINORU, C/O FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP
分类号 C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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