MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19970150408-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH10326830(A)	申请公布日期	1998.12.08
申请号	JP19970150408	申请日期	1997.05.23
申请人	NEC CORP	发明人	ODA NORIAKI
分类号	H05H1/46;C23C14/48;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306;H01L21/321	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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