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发明名称 Method for accelerated test of semiconductor devices
摘要
申请公布号 EP0836197(A3) 申请公布日期 1999.06.09
申请号 EP19970116786 申请日期 1997.09.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 SHIMADA, YASUHIRO;NAKAO, KEISAKU;INOUE, ATSUO;AZUMA, MASAMICHI;FUJII, EIJI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;G11C11/22;G11C29/50;G11C29/56;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):G11C29/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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