| 发明名称 |
MANUFACTURING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11204448(A) |
申请公布日期 |
1999.07.30 |
| 申请号 |
JP19980006363 |
申请日期 |
1998.01.16 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
IKEDA KAZUTO;SAKUMA HARUNOBU;YOSHIDA HISASHI;YUYA YUKINORI;TANIYAMA TOMOSHI;NAKAGOME KAZUHIRO |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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