| 发明名称 |
PLATE TYPE HEATER, ITS MANUFACTURE AND THIN FILM MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11204239(A) |
申请公布日期 |
1999.07.30 |
| 申请号 |
JP19980003804 |
申请日期 |
1998.01.12 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CORP RES & DEV LTD |
发明人 |
KIYOFUJI SHINJI |
| 分类号 |
H05B3/20;C23C14/24;H01L21/205;(IPC1-7):H05B3/20 |
主分类号 |
H05B3/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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