发明名称 导光板模仁制造方法
摘要 一种导光板模仁制造方法,其包括以下步骤:提供一金属基板;于该基板上涂布一均匀光阻层;利用一预定图案之光罩对该光阻层进行曝光;进行显影;采用乾蚀刻方法对基板进行蚀刻;剥离光阻,形成一导光板模仁。
申请公布号 TW200512803 申请公布日期 2005.04.01
申请号 TW092126622 申请日期 2003.09.26
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 吕昌岳;余泰成;陈杰良
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址 台北县土城市自由街2号