发明名称 | 导光板模仁制造方法 | ||
摘要 | 一种导光板模仁制造方法,其包括以下步骤:提供一金属基板;于该基板上涂布一均匀光阻层;利用一预定图案之光罩对该光阻层进行曝光;进行显影;采用乾蚀刻方法对基板进行蚀刻;剥离光阻,形成一导光板模仁。 | ||
申请公布号 | TW200512803 | 申请公布日期 | 2005.04.01 |
申请号 | TW092126622 | 申请日期 | 2003.09.26 |
申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 吕昌岳;余泰成;陈杰良 |
分类号 | H01L21/027 | 主分类号 | H01L21/027 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 台北县土城市自由街2号 |