发明名称 Menetelmä ja järjestely mikromekaanisen elementin ohjaamiseksi
摘要
申请公布号 FI109155(B) 申请公布日期 2002.05.31
申请号 FI20000000888 申请日期 2000.04.13
申请人 NOKIA CORPORATION, 发明人 RYHAENEN,TAPANI;ERMOLOV,VLADIMIR
分类号 B81B3/00;H01H47/00;H01H47/32;H01H59/00;(IPC1-7):H01H1/00;H01H57/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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