摘要 |
Phasenmodulationseinrichtung, umfassend: eine lichtemittierende Lichtquelle (10); eine Addiervorrichtung (60e), die ein gewünschtes Phasenmuster und ein Wellenfrontverzerrungskorrekturphasenmuster zum Korrigieren der Wellenfrontverzerrung des Lichts addiert zum Erzeugen eines verzerrungskorrigierten Phasenmusters; und einen elektrisch adressierten phasenmodulierten räumlichen Lichtmodulator (40), der das Licht in Übereinstimmung mit dem verzerrungskorrigierten Phasenmuster phasenmoduliert; eine Messvorrichtung (200, 210, 70, 220), die optisch die Wellenfrontverzerrung des Lichts misst, um das die Wellenfrontverzerrung angebende Wellenfrontverzerrungsphasenmuster zu erzeugen; und eine Erzeugungsvorrichtung (60c), die ein Vorzeichen des Wellenfrontverzerrungsphasenmusters invertiert, um das Wellenfrontverzerrungskorrekturphasenmuster zu erzeugen, wobei der elektrisch adressierte phasenmodulierte räumliche Lichtmodulator (40) eine Eingabe-/Ausgabefläche (150b) hat zum Empfangen und Emittieren des Lichtes damit; und das Wellenfrontverzerrungskorrekturphasenmuster ein Phasenmuster einschließt zum Korrigieren der durch die Eingabe-/Ausgabefläche (150b) hervorgerufenen Wellenfrontverzerrung des Lichts. |