| 摘要 |
본 발명은 반도체 직접회로의 전기적 특성을 검사하는 프로브 카드(probe card)에 관한 것이다. 본 발명은; 공간변형기와 전기적으로 연결되어 있으며, 테스터와 전기적 연결을 할 수 있도록 표면에 테스터 전극이 형성되어 있는 회로기판과; 회로기판과 프로브를 전기적으로 연결하며, 프로브가 접촉되어 전기적 신호를 전달할 수 있는 프로브 전극이 표면에 형성되어 있는 공간변형기와; 플레이트의 넓은 면이 시험체와 마주보게 되며, 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제1 가이드 플레이트와; 상기 공간변형기와 상기 제1 가이드 플레이트 사이에 위치하며, 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제2 가이드 플레이트와; 상기 제1 가이드 플레이트와 상기 제2 가이드 플레이트 사이에 위치하며, 상기 제1 가이드 플레이트와 서로 평행하게 위치하며, 프로브가 삽입 설치되는 복수의 중간 홀이 형성되어 있는 1매 이상의 중간 플레이트와; 전체가 동일한 굵기를 가지는 긴 와이어 형태를 가지며, 상기 프로브 홀과 상기 중간 홀에 공통으로 삽입 설치되며, 일단이 상기 공간변형기의 프로브 전극에 접촉되어 전기적으로 연결되며, 타단은 시험체의 표면에 접촉되는 복수의 와이어 프로브를 포함하여 구성되며; 상기 복수의 프로브 중 적어도 하나 이상에 있어서, 프로브의 측면 일측이 상기 중간 플레이트에 형성된 중간 홀의 내벽 일측에 밀착되어 있으며, 상기 프로브가 자체 중력에 의해서는 상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 가이드 홀을 빠져 나오지 않는 것을 특징으로 하는 프로브 카드(probe card)를 제공한다. 상기와 같은 본 발명에 따르면, 프로브의 동작특성이 매우 균일하며, 고장난 프로브를 손쉽게 교체할 수 있다. |
