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发明名称 REINIGUNGSVORRICHTUNG FUER FESTKOERPEROBERFLAECHEN
摘要
申请公布号 DE3937221(A1) 申请公布日期 1990.05.17
申请号 DE19893937221 申请日期 1989.11.08
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TADA, MASUO, YAO, OSAKA, JP;FUKUMOTO, TAKAAKI;OMORI, TOSHIAKI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 B08B7/02;B24C1/00;B24C3/22;F25C1/00;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B08B7/02
代理机构 代理人
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