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经营范围
发明名称
VAPOR-DEPOSITION MATERIAL
摘要
申请公布号
JPH04160148(A)
申请公布日期
1992.06.03
申请号
JP19900284230
申请日期
1990.10.24
申请人
HITACHI LTD
发明人
MISHIMA TOMOYOSHI;TAKAHAMA MITSUHARU
分类号
C30B23/08;C23C14/24;C30B29/40;H01L21/203
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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