金属闸极的制作方法

摘要

一种利用两阶段溅镀沉积金属薄膜以降低闸极介电层损伤的金属闸极之制作方法。依序采用第一阶段为低功率溅镀，第二阶段为高功率溅镀的金属薄膜沉积制程来制作金属闸极。其中，低功率溅镀沉积制程，可降低于溅镀沉积过程中，高能量的粒子对闸极介电层的轰击损伤或穿透效应所导致闸极介电层的破坏；而高功率溅镀沉积制程，则可维持整体金属闸极的高导电性及制程的高产出(throughput)需求。