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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07258839(A) 申请公布日期 1995.10.09
申请号 JP19940048255 申请日期 1994.03.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAMEI MITSUHIRO;SETOYAMA HIDETSUGU;UMEHARA SATOSHI
分类号 C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/677;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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