用于微影图案装置之安全机构

摘要

本发明揭示一种微影装置，其备有一图案装置安全机构。在一实施例中，该装置包含一照明系统，其用于提供一辐射光束；一支撑结构，其用于支撑一图案装置，该图案装置系以一截面图案施加于该辐射光束；一基板固定座，其用于固定一具有复数个目标物部分之基板；一投影系统，其用于投射该图案化光束到该基板之目标物部分上；一连接件，其用于相对于该支撑结构而固接该图案装置；及一安全机构，系建构以在该连接件故障时可减少该图案装置不能控制之位移。